OLED又称为有机电激光显示，是一种利用多层有机薄膜结构产生电致发光的器件，近年借道手机市场全面爆发，OLED面板的市场需求呈指数级增长。我国是全球OLED面板生产的主产地之一，但是，上游关键工艺设备OLED蒸镀机“一机难求”。

“如果说光刻机是制作芯片的关键核心设备，那么蒸镀设备就是制作OLED面板的‘光刻机’，目前我们的一代机二代机已经实现量产，填补了国内该领域的技术空白，打破国外的市场垄断，开了一个技术与市场的好头。”10月26日，在合肥欣奕华智能机器有限公司，其合肥区域总经理蒋睿告诉记者，2015年公司组建OLED事业部，发力OLED真空蒸镀装备技术，已建成3万平方米的OLED蒸镀机研制洁净车间，拥有各类先进研发设备和仪器20余台套，组建了国际化高端人才团队，奔跑在追赶国外领先设备制造企业的创新路上。

从0到1的飞跃

合肥欣奕华智能机器有限公司成立于2013年，位于合肥新站高新区，与显示行业巨头京东方是邻居。公司主营业务涵盖平板显示行业工业机器人、智慧工厂解决方案和高端装备的研发、制造、销售、服务等。今年，其OLED蒸镀封装设备入选安徽省首台套重大技术装备的目录，专家评价：“产品填补了国内该技术领域的空白，代表国内先进水平。”

“一台日本最先进的佳能Tokki进口蒸镀机售价大约1.4亿美元，不仅昂贵，还一机难求。我们一直是各大显示面板厂的上游企业，具有相关行业经验和专业优势，因此从2015年开始技术攻关，往这一核心技术领域趋进。”曾经在日本留学工作10多年的蒋睿思维缜密、客观冷静，归国后慢慢从技术骨干转向高级管理岗位。

他介绍，在生产OLED屏的过程中，要通过真空蒸镀机将有机物和金属材料气化，精准、均匀、可控地蒸镀到玻璃基板，设备技术要求极高。其核心组件包括蒸发源、对位系统、真空腔室、工艺控制系统等，现在，企业已实现四大核心组件的自主开发和工艺研究调试，以及小尺寸OLED蒸镀整机的研制和小批量生产，并向我国OLED应用行业提供相关产品和技术服务。

“这只是万里长征第一步，与日本最先进的设备比，我们还存在不小的差距，但已经实现从0到1的突破，后面需要长期脚踏实地的技术积累与更迭。”据了解，目前欣奕华这一蒸镀设备的销售对象主要是科研院所高校等实验室和OLED材料制造商，用于研究开发和技术验证，同时向OLED器件制造企业提供小尺寸蒸镀机产品和技术服务。

欣奕华在OLED蒸镀设备研发、生产、市场化过程中得以快速发展，得益于国家与省级层面对OLED产业的规范化引导。蒋睿表示，设备入选省级首台套重大技术装备目录，不仅意味着资金支持，更多的是一种政策信号和市场引导，帮助新面世的产品迅速打开市场局面。

他解释：“一条OLED生产线动辄投资几百亿元，客户不敢轻易将蒸镀机这样的核心设备国产化替代，万一出差错，损失是无法估量的。因此新产品市场推广难度大。政府这一‘首台套政策’是对产品的认可，像保险补贴的具体措施就起到市场引导作用，帮助我们获得客户的信赖。”

在智能机器人领域成功突围

其实，蒸镀设备领域并不是合肥欣奕华第一次“国际突围”。之前其在工业机器人领域的长期专注已有收获，开发出国内首台高世代洁净搬运机器人，率先研制推出测试机器人，打破国外垄断局面，替代进口。

在工厂安静巨大的厂房里，记者看到了这台巨大的搬运机器人，约五六米高，不停来来回回、上上下下地移动。公司公共关系部负责人于学习向记者解释：这是目前过全球大尺寸的洁净搬运机器人，主要应用于泛半导体行业搬送作业，适用于6代线、8.5代线、10.5代线，现在正处于出厂前的测试阶段。“显示面板制造，只有零点几毫米厚的大尺寸玻璃基板十分易碎，必须运用工业机器人，高效安全、精准快速。以前该产品全是国外垄断，公司在2017年完成国产化自主技术攻关，并研发出升级产品，现在我们的最新产品已经处于世界先进水平。”

于学习表示：“最初我们模仿国外的产品线，然后逐渐消化吸收再超越，如今，欣奕华自主研发的洁净搬运机器人突破了10余项核心关键技术，中国成为继日本、韩国之后第三个自主研制该设备的国家，我国液晶搬运机器人研制能力和产品整体技术也跃居世界先进水平。”由于技术领域的突破性进展，国产化替代大大降低了行业成本。“市场售价从最初的百万美元降至百万人民币，中国产品的竞争力明显增强。”公司技术部门相关负责人介绍。目前公司的产品已具一定规模，销往国内数家著名面板企业。

据了解，这一工业机器人项目两年前也曾入选省级首台套目录，获得政策有力支持。“近年获得的首台套政策补贴累计约有500万元，引导企业潜心钻研，深耕行业。”于学习表示。

根据我省相关政策，对经评定的“三首”产品省内研制和省内示范应用企业，省财政分别按档次给予一次性奖补，合计最高500万元；对省内企业投保“三首”产品推广应用综合险的，按年度保费的80%给予补贴，补贴时限为一年。

“五力”是制胜关键

“当下疫情、中美经贸摩擦、国际OLED投资下滑等不确定性因素比较多，但我们保持定力，始终坚持以客户为中心，在不确定中寻找确定性，坚定不移走提升核心竞争力的创新之路。”蒋睿介绍，公司主持并承担国家重点研发计划项目1项、参与国家重点研发计划项目2项；主持省市级重大技术及合作研发项目近10项，取得了一系列研究成果，累计申请国家专利200余项，其中发明专利115件，授权国家专利88件，软件著作权登记44件，安徽省科技进步奖一等奖1件、IF红点设计奖1件。

不仅自身坚持创新研发，欣奕华还注重扶持培育上下游企业，攻克部分零部件的国产替代，致力于协同发展。公司负责人表示：“一些关键零部件受多重因素影响进口受阻，我们正在携手国内企业研发、调试国产替代，寻找适合自己的设备，但这些需要时间。”

“我觉得企业取得了一些成绩，在于五方面的保证：前瞻力、平台力、保障力、共识力以及创新力。”蒋睿解释，公司特别注重高端人才队伍建设，尤其是国际高端人才的引进。“像OLED蒸镀设备团队，三分之一是日韩高端技术人才。引进高端人才能让企业在更高起点追赶，规划更具前瞻性，促进设备的国产化进度。”

据了解，欣奕华目前人才结构中，研究生、博士占公司技术人员的六成。公司负责人表示，未来公司将继续扎根泛半导体产业高端装备制造领域，为提升我国显示产业上游核心装备的技术水平而不懈努力。