AVIS ( 自动视觉检测系统/ 自动晶圆检测系统)
产品特点:
功能可选模块化设计
紧凑型封口
高洁净度、高可靠性、高精度
提供系统定制
核心技术:
传输振动抑制控制
视觉检测运动控制
高洁净度控制
高可靠性控制
高精度控制