应用于FOUP的端口模块。
产品特点：
遵循SEMI标准
晶圆映射系统（常规、交叉、复核）
应用 FOUP & FOSB
晶圆突出, 人工检测
BCR, RFID 选择
核心技术：
FOUP 处理&控制
N2 清洁系统
京公网安备11030102010672号
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