产品特点 – 气流计算技术– 高洁净度净化设计技术– 机械刚度计算技术– 设备故障自诊断– 设备远程控制– 信息数据管理技术核心技术
产品特点
– 气流计算技术
– 高洁净度净化设计技术
– 机械刚度计算技术
– 设备故障自诊断
– 设备远程控制
– 信息数据管理技术
核心技术
– 可满足客户定制需求– 蒸镀模拟技术– 温度及压力控制技术– PID控制技术– Log分析技术– 高精密对位补偿算法
– 可满足客户定制需求
– 蒸镀模拟技术
– 温度及压力控制技术
– PID控制技术
– Log分析技术
– 高精密对位补偿算法
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