产品应用
集成电路：
-28-90nm技术节点-逻辑、存储、功率器件-poly，gate，contact，via，metal等工艺层制作
-28-90nm技术节点
-逻辑、存储、功率器件
-poly，gate，contact，via，metal等工艺层制作
产品特点
-分辨率：65-130nm-高分辨，高对比度，宽工艺窗口
-分辨率：65-130nm
-高分辨，高对比度，宽工艺窗口
京公网安备11030102010672号
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