VTS ( 真空传输系统)主要应用于晶圆制造过程中的真空输送。
产品特点：
真空状态传输；
提供定制化服务；
4~8 侧面真空传输仓；
批量/半批量负载制动室；
可选功能的模块化设计，紧凑型封装；
核心技术：
高精度的处理、装配和检测；
真空传输控制；
传输振动抑制控制；
高洁净度、高安全性、高精度控制；
京公网安备11030102010672号
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