In-line 蒸镀设备
应用场景：应用于汽车尾灯、照明等PMOLED面板、WOLED面板、光伏钙钛矿电池量产
产品应用
– 各种基板尺寸
– Inline Type
– 标准化
– 模块化
– 成膜均匀性高
– 运营稳定
技术优势
– 定制化产品，可配置点源或线源
– 具备Auto PID，蒸镀稳定，成膜均匀
– 产品成熟，运行稳定（MTFR≥720小时）
| In-line 蒸镀设备 | 规格参数 |
|---|---|
| 基板 | Up to G8.5 |
| 生产节拍 | 60秒 (区分镀层) |
| 生产时间 | ≥144小时 |
| 膜厚均匀性：有机材料 | ≤2% (片内)；≤2%(片间) |
| 膜厚均匀性：金属材料 | ≤3% (片内)；≤2%(片间) |
| 速率稳定性（0.01Å/s- 3Å/s）有机材料 | Host：≤±2%，@1.0Å/s |
| 速率稳定性（0.01Å/s- 3Å/s）Dopant | ≤±3%，@0.01Å/s |
| 速率稳定性（0.01Å/s- 3Å/s）金属材料 | ≤±2%，@1.0Å/s；≤±3%，@0.01Å/s |
| 对位 | ≤±50μm(机械对位) |
| 系统控制 | 控制系统PLC，PC (GUI S/W) |
京公网安备11030102010672号
微信