产品特点
– 适用对象：TFT-LCD、LTPS、OLED
– 可检测缺陷：Gate/Cs/Data open/short/cross short
– 即时在线检测
– 模块化设计，标准化CIM通讯软件
– 多轴高精度运动控制技术
– 完全非接触式检测技术
核心技术
– 完全非接触式检测技术
– 高精度运动控制技术
| LCD/OLED面板断路/短路检测设备 | 规格参数 |
|---|---|
| 缺陷检出率 | 99% |
| 检测传感器与玻璃之间的间隙 | 100±10μm |
| 各轴的重复定位精度 | 5μm |
| 可测试的电子线路最小宽度 | 2μm |
| 相邻电子线路之间的间距 | 最小20μm |
| 可检测基板厚度 | 最薄0.3mm |
京公网安备11030102010672号
微信