产品特点
– SEMI Standard Compliance
– 走行速度Max 320m/min
– 振动≤0.5G
– MTBF≥2000HR
– Up Time≥99.99%
核心技术
– 独有的路径探索算法专利
– 搭建Digital Twin平台，OCS虚拟映像技术
– Log可视化技术
– 轨道汇合点双重防撞技术
| 半导体自动物料搬送系统AMHS | 规格参数 |
|---|---|
| 型号 | SVA-OHT01 (FOUP OHT) |
| 载重 | Max 15 kg |
| 走行速度：直行速度 | Max 320m/min |
| 走行速度：弯轨速度 | 70m/min |
| 走行速度：防火安全门 | 200m/min |
| 走行速度：Acc / Dec | 1.96m/s² / 2.94m/s² |
| 伸出速度 | 40m/min |
| 伸出距离 | 960mm(-480mm ~ +480mm) |
| 升降速度 | 80m/min |
| 升降距离 | 3000mm |
| 可调角度 | ±10˚ |
| 轨道半径 | 500mm |
| 走行停止精度 | ±0.5mm |
| 振动 | ≤0.5G |
| 分支/汇合方式 | VHL self switching |
| 规格尺寸 | 478.5（w）*896（D）*905（H） |
| 重量 | 115kg(含FOUP) |
| 供电方式 | CPS 方式 |
| 供电方式 | 1次电源：20KW |
| 供电方式 | 2次电源：2Kw |
京公网安备11030102010672号
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