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大尺寸巨量转移设备


产品特点

                                                                                                                                     


– 大尺寸基材高速高精度固晶

– 可对应多种大尺寸基材(410mm×887mm~865mm×1469mm)

– Mini LED内部特征识别定位

– Wafer自动上下料

– 标准化软件接口


核心技术

                                                                                                                                     


– 高刚度结构设计及高频冲击下的振动抑制技术

– 为满足高精度运动控制的温度补偿技术

– 适应高速高精度固晶运动的亚毫秒级多轴协同运动控制

– 高精度的视觉识别技术,适用于识别各种Mini/Micro LED的微米级特征




产品参数
大尺寸巨量转移设备 规格参数
基板尺寸 410mm×887mm~865mm×1469mm
芯片 75μm×125μm ~ 3mm×3mm
可兼容基板 玻璃&PCB基板
精度 ≤15μm@3σ
速度 180k UPH
良率 99.999%
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