产品应用
– 标准化
– 模块化
– 成膜均匀性高
– 材料利用率高
– 稳定运营时间长
技术优势
– 高精密温度控制技术
– 长时间运营稳定性
– 真空热系统蒸镀模拟技术
| 蒸发源 | 项目 | 规格参数 |
|---|---|---|
| 线源：运行时间 | ≥250小时 | |
| 线源：膜厚均匀性 | 有机材料：Host：≤1.5%；Dopant：≤2% | |
| 线源：膜厚稳定性 | ≤1.5% | |
| 线源：再现性 | ≤1.5% | |
| 线源：速率稳定性 | 有机材料：Host：≤±1%；Dopant：≤±2% | |
| 线源：温度控制 | ≤0.2%或0.3℃ | |
| 线源：Clogging | No Clogging | |
| 点源：温度控制 | R.T~1500摄氏度，≤±1℃ | |
| 点源：膜厚稳定性：≤3% | ||
| 点源：再现性 | ≤3% | |
| 点源：速率稳定性 | ≤3% |
京公网安备11030102010672号
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